1) 应用范围
本产品是一款桌面式等离子刻蚀处理设备，适合于科研实验、小批量试产作业，适用于6英寸以下晶圆去胶、化学反应蚀刻、同时实现表面清洗改性。
● 晶元表面去胶
● 6英寸及以下尺寸的样品刻蚀、减薄等工艺刻蚀，材料包括硅基材料、有机物等
● 粉体颗粒的蚀刻、掺杂等工艺处理
2) 产品特点
● 设备集成度高，体积小、减少了实验室场地使用
● 采用8.8寸触摸屏控制，减少复杂的机械按键和旋钮操作；
● 一键启停，简单易学、直观明了；
● 专业的技术设计与软件控制、确保实验参数可重复
● 通过触摸屏可以任意设置电源功率、工艺时间、工作真空度，并具有设定参数记忆功能，方便调取与查阅；
● 内部集成数显真空计、功率计和定时器，实时监控真空度、功率值和工艺时间，让您对所有的工艺参数了如指掌；
● 运行过程中实时监控运行参数一旦出现故障及时关停设备并提示报警，确保设备安全运行。
3) 主要技术参数
序号 | 项目 | 规格 |
1 | 设备名称 | 实验型等离子刻蚀机 |
2 | 设备型号 | ZS-SY-KS01 |
3 | 整机规格 | 500mm*500mm*500mm（W*D*H） |
4 | 腔体规格 | 不锈钢；内径150mm×200mm 或 内径200mm×200mm（可选） |
6 | 样品台规格 | 4英寸/6英寸 |
7 | 整机重量 | 29Kg |
8 | 电力需求 | 50-60Hz；AC220V；10A |
9 | 电极形式 | 内置极板 |
10 | 电源系统 | 13.56MHz，0~300W或0~500W（可选） （固定阻抗匹配+远程控制调节） |
11 | 控制系统 | 8.8寸电阻触摸屏；JW2020001控制系统；手动&自动模式 |
12 | 真空测量 | 成都睿宝/皮尼拉电阻规 |
13 | 真空泵 | 日本大阪30E；抽速8L/s |
14 | 进气系统 | 2路，浮子流量计(0-120sccm)或 质量流量计(0-300sccm)（可选） |
15 | 冷水机 | 2L/600W |
16 | 使用气体 | Ar、O2、N2、N2+H2等（客户需自配减压阀） |
17 | 极限真空 | 5Pa |
18 | 整机功率 | 1500W |
