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实验型等离子处理机

实验型等离子处理机
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1) 应用范围

本产品是一款桌面式等离子表面处理设备,适合于科研实验、小批量试产作业,适用于各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、改性等。

● LCD 面板电极表面有机污染物的清洗

● BGA 电路板电极表面有机污染物的清洁

● LED 的清洗与活化

● PCB 表面清洗

● 橡塑材料的清洗与活化

● 玻璃与陶瓷表面的清洗与活化

● 生物材料表面接枝与活化

● 医疗器械消毒杀菌

● 人造生物器官的表面改性

2) 产品特点

● 设备集成度高,体积小、减少了实验室场地使用

● 采用触摸屏控制,减少复杂的机械按键和旋钮操作

● 一键启停,简单易学、直观明了

● 专业的技术设计与软件控制、确保实验参数可重复

● 集成触摸屏控制真空泵、气路、电源、破真空的开启和关闭

● 通过触摸屏可以任意设置电源功率、工艺时间、工作真空度,并具有设定参数记忆功能,方便调取与查阅

● 内部集成固定匹配器,简化同样工艺条件下繁琐的匹配手动调节

● 内部集成数显真空计、功率计和定时器,实时监控真空度、功率值和工艺时间,让您对所有的工艺参数了如指掌

● 运行过程中实时监控运行参数一旦出现故障及时关停设备并提示报警,确保设备安全运行

3) 主要技术规格

序号

项目

规格

1

设备名称

实验型等离子处理机

2

设备型号

ZS-SY-TYZ01

ZS-SY-TYS01

3

整机规格

650mm*450mm*400mm(W*D*H)

4

腔体规格

316不锈钢;

内径160mm*250mm;5L

高纯度石英腔体;

内径160mm*250mm;5L

5

整机重量

29Kg

6

电力需求

50-60Hz;AC220V;10A

7

电极形式

内置极板

内置极板或外置电感耦合(可选)

8

电源系统

40KHz,0~500W

13.56MHz,0~150W

(固定阻抗匹配+远程控制调节)

9

控制系统

6寸电阻触摸屏;JW2020001控制系统;手动&自动模式

10

真空测量

1-100Pa

11

真空泵

飞跃VRD-4;抽速4L/s

12

进气系统

2路,浮子流量计(0-200ml)

13

使用气体

Ar、O2、N2、N2+H2等(客户需自配减压阀)

14

极限真空

5Pa

15

整机功率

1500W



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