1) 应用范围在线真空等离子设备，专为半导体行业设计。针对封装工艺中的引线框架上点胶装片、芯片键合、除胶及塑封等工艺前清洗，大大提高粘接及键合强度等性能的同时，避免人为因素长时间接触引线框架而导致的二次污染以及离线腔体式批量清洗时间长有可能造成的芯片损伤。
适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。印制线路板行业∶高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗;硅胶、塑胶、聚合体领域∶硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
2) 产品特点● 实现真空等离子的在线生产
● 可以与焊接、清洗等多种类型设备进行连接
● 轨道全磁力轮传动结构，避免齿轮磨损造成粉尘污染
● 绝缘材质均采用PEEK，避免氟污染
● 接驳车掉片检测，降低故障率
● 同尺寸机台兼容更宽更长轨道
● 射频源有500W，1000W可供选择
3) 主要技术规格序号 | 项目 | 规格 |
1 | 设备型号 | ZS-ZX-B01 |
2 | 机台整机规格 | 1300*1550*2100mm（不包含 FFU 及报警指示灯） |
3 | 进出料方式 | 流水线全自动进出料（出料具备缓存功能） |
4 | 出料高度 | 1100mm（可上调 50mm，下调 30mm） |
5 | 真空电极结构 | 水平栅栏式电极板，可同时处理4 轨道内产品 |
6 | 真空泵系统 | 干式真空泵 |
7 | 真空测定系统 | 高精密薄膜硅真空计 |
8 | 真空供气系统 | Φ6 全不锈钢管+不锈钢锁套管路 |
9 | 真空排气系统 | 全不锈钢管路+波纹管 |
10 | 破真空系统 | 倒计时自动开合启动 |
11 | PLC 自动控制 | 日本三菱（MITSUBISHI）及扩展模块 |
12 | 人机工控系统 | WEINVIEW 触屏工控电脑 |
13 | 输入气压监测 | 2路日本 Panasonic 自动报警气压表（ 带过滤装置） |
14 | 气体控制系统 | 2 路日本 SMC 电磁阀门 |
15 | 气体计量系统 | SevenStar- MFC 气体质量流量计精确控制流量 |
16 | 等离子发生器 | 额定功率：0-600W，全自动匹配 |
17 | 其他组件 | 国内外知名品牌元器件 |
