1) 应用领域
● CCM 摄像头模组、 LCD 显示模组、触摸屏清洗
● COB 、 COG 、 COF 、 ACF 工艺打线、焊接前处理
● LED光源、 LED 支架清洗、 LED 封装前清洗
● 陶瓷、玻璃、橡胶、塑料的表面清洗与活化，提高粘结力及附着力等
2) 产品特点
● 处理均匀性好
● 射频等离子，不损伤基板
● 严格验证的放电电极结构
● 高密度等离子发生电源
● 等离子发生效率高，处理效率快
● 化学物理作用同时进行
● 参数设定范围广
● 可以使用多种气体
● 全自动操作
● 设备稳定性好、维护简单、方便拆洗
● 完善的设备报警系统
● 高效散热性能
3) 主要技术规格序号 | 项目 | 规格 |
1 | 设备名称 | 等离子处理设备 |
2 | 设备型号 | ZS-TY-B70L | ZS-TY-B110L | ZS-TY-CZB70L |
3 | 整机规格 | 1004mm*1204mm*2219mm （W*D*H） | 1104mm*1204mm*2219mm （W*D*H） | 1004mm*1204mm*2219mm （W*D*H） |
4 | 腔体规格 | 400*400*450mm（W*D*H），70L | 500*450*500mm（W*D*H），110L | 400*400*450mm（W*D*H），70L |
5 | 整机重量 | 350Kg | 450Kg | 350Kg |
6 | 电力需求 | 380V，50Hz，4Kw |
7 | 电极规格 | 340mm*340mm*3mm，共7块 | 440mm*340mm*3mm，共7块 | 垂直式 |
8 | 载物规格 | 304不锈钢丝网托盘，共6层 | 304不锈钢丝网托盘，共6层 | 料盒3-6个 |
9 | 电源系统 | 0~800W，连续可调，13.56MHz射频源 |
10 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
11 | 真空测量系统 | 日本爱发科皮拉尼真空计 |
12 | 真空泵 | 油式真空泵，抽速：80m3/h |
13 | 进气系统 | 2路，0-500sccm质量流量控制器 |
14 | 使用气体 | Ar、O2、N2、N2+H2等（客户需自配减压阀）。空气：0.4-0.7Mpa 氩气：小于 0.3Mpa 氮气：小于 0.3Mpa |
15 | 处理时间 | 根据产品要求，3min-20mim/轮（不含人工取放时间） |
